技术编号：8367567
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。为了观察物体的微小的区域，使用扫描式电子显微镜(SEM)、透射式电子显微镜(TEM)等。一般情况下，对在这些装置中用于配置试样的机箱进行真空排气，使试样环境成为真空状态从而拍摄试样。然而，生物化学试样、液体试样等因为真空而受到破坏，或是改变状态。另一方面，对于以电子显微镜观察这样的试样的需求较大，近年，正在开发能够在大气压下对观察对象试样进行观察的SEM装置、试样保持装置等。这些装置的原理在于，在电子光学系统与试样之间设置电子束能够透射的隔膜或微小的贯通孔...
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