技术编号:8371358
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 在半导体制造工艺中,可以制造其中形成有诸如晶体管、电阻器、电容器、电感器 等的器件的半导体芯片。半导体芯片的制造可以包括许多处理步骤,其可以包括光刻、离 子注入、掺杂、退火、封装等的组合。在这些工艺中可以使用的许多类型的流体,包括水、电 介质、聚合物、光刻胶、化学蚀刻剂、酸等。这些流体被过滤并传输至在制造半导体期间使用 这些流体的制造设备。发明内容 为了解决现有技术中存在的问题,根据本发明的一个方面,提供了一种过滤器,包 括过滤池;过滤膜,包括过滤材料;...
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