技术编号：8376155
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 利用气体放电产生等离子体对金属表面进行改性是一种新型的处理手段，相比于 传统的电镀，涂覆，抛光等在不影响使用情况下具有污染小，均匀性好等特点。因此产生诸 如等离子体辅助化学气相沉积（PACVD)，等离子体渗氮、渗碳，离子注入等方法，并在特殊零 件加工，航天航空，医学上都有较好的应用价值，但由于其产生条件较为苛刻，难以在大规 模场合得到应用。随着对等离子体技术的研宄进一步深入，在此基础上，研宄发现一种新型 的放电形式，能够在常压下无需介质阻挡产生类似辉光的...
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