技术编号:8378996
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体,特别涉及一种MEMS器件及其形成方法。背景技术MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems,微电子机械系统)压力传感器,广泛应用于汽车电子中(例如发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器、柴油机共轨压力传感器);消费电子(如胎压计、血压计、橱用秤、太阳能热水器用液位控制压力传感器);工业电子(如数字压力表、业配料称重等)。目前的MEMS压力传感器通常有两种压阻式压力传感...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。