技术编号：8378997
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统(MEMS)器件是具有嵌入式机械兀件的半导体器件。MEMS器件被用于各种各样的产品，例如，汽车安全气囊系统、汽车中的控制应用、导航、显示系统、喷墨盒等等。MEMS器件包括，例如，压力传感器、加速器计、陀螺仪、麦克风、数字镜像显示器、微流体器件等等。MEMS压力传感器通常使用压力腔和膜元件，该膜元件是指在压力下偏转的隔膜。在某些配置中，两个板(其中两个板之一是可动隔膜)之间的距离的变化建立了可变电容器以检测由于在区域上施加的压力而造成的应力(或偏转...
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