技术编号:8379645
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在晶圆级可靠性测试中,对于栅氧层的击穿电压,常用的测试方法有斜坡电压(Vramp)测试方法。如附图1所示,斜坡电压测试方法时,在栅极施加斜坡电压(电压逐渐增大)形式的栅极电压Vg,同时量测栅极的栅极电流Ig,当栅极电流Ig达到一定值时,测试停止,此时对应的栅极电压就是栅氧化层的击穿电压。当击穿电压小于电压规格(Vspec)时,则判断该样品失效。此量测方法中,栅极电压是按一定的加压速率(Ramp rate)增加的。但是,一般Vramp的测试结构和测试样品数量...
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