技术编号：8380038
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在混合使用步进式光刻机(stepping stepper)与扫描式光刻机(扫描式光刻机)的晶圆厂，相同产品的不同光刻工序，会应用到步进式光刻机与扫描式光刻机，由于两种类型的光刻机曝光镜头差异，导致最大曝光范围尺寸不同，步进式光刻机的最大曝光范围是22X22mm或者17.92X25.2mm尺寸，而扫描式光刻机的曝光范围为25X33mm。为满足不同工程的需求，通常的做法是对相同产品都采用步进式光刻机的曝光尺寸进行掩膜版的生产，即在扫描式光刻机上的曝光范围也减小...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。