技术编号:8382350
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现在的多鳍(multiple fin)结构多为独立的鳍连接到同一个源漏焊盘(S/Dpad)上。现有技术中,现有的专利申请对于U形沟道结构,都是采用两次刻蚀分别形成鳍的两个侧面。由此,根据现有技术的比较复杂,而且由于采用两次刻蚀分别形成鳍的两个侧面,所以鳍的两个侧面的对称性有时候并不理想。所以,希望能够提供一种能够简化鳍结构形成工艺并且使得鳍侧壁的对称性较好的。发明内容本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在上述缺陷,提供一种能够简化鳍结构形成工艺并且使...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。