技术编号:8392826
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。单晶硅作为现代信息社会的关键支撑材料,是目前世界上最重要的单晶材料之一,它不仅是发展计算机与集成电路的主要功能材料,也是光伏发电利用太阳能的主要功能材料,在硅单晶拉制前,需要利用坩埚取出机构取出坩埚,一般的单晶炉坩埚取出机构,都是采用人工拆装式来实现,如此劳动强度大且不安全,生产效率第,而且现有的单晶炉坩埚取出机构会致使坩埚受力不均、局部受力过大,导致坩埚损坏。发明内容本发明所要解决的技术问题是针对上述缺陷,提供一种三爪卡托单晶炉坩埚取出装置,该装置可以安...
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