技术编号：8395082
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于传感器制备，尤其涉及一种基于SOI技术的、可应用于军工领域、汽车工业和其他消费类电子产品中的三轴式加速度传感器，具体为一种三轴电容式MEMS加速度传感器及制备方法。其技术方案对三轴加速度的检测。背景技术MEMS是未来武器的精华部分、是未来军用武器装备中的支撑技术和关键技术，国外已抢先将MEMS传感器应用于导弹和导弹发射系统、智能武器系统中。美国国防部高级研宄计划局(DARPA)把MEMS技术确认为美国急需发展的新兴技术，正在重点推进MEMS传感器...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。