技术编号：8395083
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS电容式微加速度计的结构微小，输出的信号输出的信号非常微弱，并且是模拟信号，电容变化量非常微小，一般都在10_15f左右，并且受寄生电容，各种噪声等的影响严重，对这一输出信号进行检测并将这一信号转换成电信号的测试电路难度非常大。且MEMS加速度计随集成工艺的改变比较大，器件参数有很高的不确定性以及各种非线性；其输出的微弱信号检测问题一直是困扰研宄工作人员的突出问题。现有的MEMS加速度计读出电路结构有单端检测结构和差动式检测结构两种。单端检测结构一般...
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