技术编号:8395418
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于高速高精度电子制造装备领域,涉及一种具有未知扰动的大加减速传 送带振动控制的仿真系统,具体涉及一种具有未知扰动大加减速传送带振动ro控制系统。背景技术 电子元器件的微型化和集成化对高速高精度电子制造装备的加工精度要求越要 越高,然而具有弹性形变的传送带产生的振动制约装备的加工精度。在传送带振动控制研 宄中,传送带模型具有强耦合、无穷维以及大加减速运动的特点,为建模高频模态可能导致 溢出效应,影响系统的稳定性。近年,有方法将一些控制方法相结合,但...
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