技术编号:8396924
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。二次中性粒子质谱(Secondary Neutral mass spectrometry, SNMS)是在二次离子质谱(Secondary 1n mass spectrometry, SIMS)基础上发展起来的用于分析表面化学组成的一种质谱方法。S匪S和SMS相似之处在于两者都是利用初级离子束入射样品表面,通过分析溅射产生的二次粒子而获取材料表面化学组成,不同之处在于前者测量的是产生的中性粒子,而后者测量的是产生的荷电粒子(正负离子)。SIMS成功地解决了...
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