技术编号：8396929
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在很多先进的工艺平台中，考虑到光刻解析度、刻蚀阻挡等综合需求，必须大幅减少介质层的厚度。随着介质层厚度的减少，介质层对准标记的高低差也随之减小。在后续金属层覆盖后，由于对准标记无法通过颜色辨识，只能通过高低差读取，这样对准标记高低差过低就会导致设备无法辨识，或出现信号不够强以及信号不稳定的状况，使产品无法过货或对准结果变异较大。在之前一些工艺中，为了提高介质层对准标记的高低差，通常会采用把前一层金属层挡板抽取掉的方法，该方法虽然可以增加高低差，但由于整块挡...
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