技术编号:8397055
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在薄膜晶体管(Thin-Film Transistor,简称TFT)阵列基板的制作过程中,常会有静电累积的现象产生,且由于显示的需求,选用绝缘性质的玻璃基板,导致在制作过程中产生的静电累积无法消除,因而容易引起静电放电(Electro-Static Discharge,简称ESD)的问题,造成阵列基板性能下降甚至被破坏,从而降低产品良率。具体的,在薄膜晶体管制作过程中,一些制程环境会产生静电的累积,如化学气相沉积(Chemical Vapor phase ...
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