射频裂解硒蒸气装置的制备方法技术资料下载

技术编号:8397130

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柔性衬底铜铟镓硒(Cu (In,Ga) Se2,简称CIGS)薄膜太阳电池具有质量比功率高、抗辐射能力强、稳定性好等优势,广泛适用于各领域,被认为是最有前途的光伏器件之一。柔性CIGS薄膜太阳电池适合卷对卷制备和单片集成,在批量生产和降低成本方面具有很大潜力。目前,制约该类电池性能提高的关键问题和技术难点是CIGS薄膜的沉积技术。制备CIGS薄膜的方法有很多,其中,多元共蒸发法是制备CIGS薄膜最广泛和最成功的方法。2012年,瑞士联邦技术学院(EMPA)...
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