技术编号:8397827
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。基于微机电系统(MEMS)的技术和器件近年来得到迅速的发展。目前MEMS产品已包括压力传感器、加速度计、微陀螺仪、墨水喷咀和硬盘驱动头,在智能手机、电器、航天产品等领域得到了广泛的应用。机械谐振器是微机电系统中用于实现机械信号和电信号相互转换的一种基本结构。机械谐振器一般是由半导体材料采用微纳米加工技术加工而成的微悬臂或微桥结构。谐振器自身的质量、谐振频率以及品质因子决定了其对压力、质量等物理信息的探测精度。MEMS器件要求更高的信号探测精度则需要谐振器具...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。