技术编号：8399279
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 从专利WO2009/121438A1中可知一种具有照明系统的投射曝光设备。从 DE10358225B3中可知一种EUV光源。另外，从WO2009/121 438A1中可得到了解EUV光源 的其它参考。另外从US2003/0043359A1与US5, 896, 438中可知EUV照明光学单元。从 US6, 999, 172B2与US2008/0192225A1中可知用于产生偏振EUV光与用于几何偏振旋转 的变型例。发明内容 本发明之目的在于发展一种抓V光源...
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