技术编号:8402694
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于化学工程,涉及到。背景技术 真空薄膜技术已广泛应用于现代化的工业生产和日常生活中,如显示、半导体、太 阳能、航空航天等领域。而随着薄膜应用的日益广泛,薄膜对气体渗透率测量的要求愈显 重要,例如在航空航天,薄膜对气体的渗透性能影响着飞行器的安全与使用;未来的照明 和显示技术将采用OLED作为功能材料,其薄膜对气体的渗透性是影响该类器件使用寿命 的最关键因素;在医学、生物、化学等方面的应用,很大程度上也都是基于它们对各种气体 渗透特性的运用。 目前...
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