技术编号:8403586
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。薄膜涂布装置可涂布一薄膜材料于一工件上。通过调整薄膜涂布装置的涂布狭缝的宽度,可控制形成的薄膜的厚度。然而,涂布狭缝位于薄膜涂布装置中刚性较强部位的宽度与其它部位的宽度差异大,如此导致所形成的薄膜的厚度变化大,例如是薄膜的边缘厚度大于其它部位的厚度(肥边现象)。发明内容本发明是有关于一种薄膜涂布装置,可改善现有肥边现象。根据本发明的一实施例,提出一种薄膜涂布装置。薄膜涂布装置包括一第一本体、一第二本体及一第一侧盖。第一本体具有一第一外侧面及一从第一外侧面往...
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