技术编号:8406565
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及用作光刻胶组合物的组分的光致酸生成共聚物。背景技术 当接触电子束或者极端紫外福射时分解产生酸的化合物(也已知为光致酸生成 剂)是用于微电子制造的化学放大光刻胶组合物中聚合物的化学放大脱保护或交联的基 础。将光致酸生成剂作为分开的化合物或者作为共聚物内的重复单元结合到光刻胶组合物 中。光刻胶组合物的存在提供了福照敏感性、分辨率和线宽粗趟度的有用平衡。但是,希望 光刻胶展现出增加的最终分辨率、降低的斑点(顶部粗趟度)和增加的聚焦深度,而基本上 不危...
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