技术编号:8407977
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。多弧离子镀具有离化率高、沉积温度低、成膜速率快、结合力强、薄膜组织致密及工艺参数易于调节等优点。该技术适用于复合硬质膜的制备,并且在氮化钛、氮化钛铝、氮化钛铝锆及氮化钛铝锆铬等钛基多元单层、多元双层及多元梯度硬质膜的制备方面获得成功应用。对于钛铝锆铌四组元的氮化物膜,其具有比氮化钛等一元氮化物膜、氮化钛铝等二元氮化物膜、氮化钛铝锆、氮化钛铝铌等三元氮化物膜及氮化钛铝锆铬等四元氮化物膜更高的硬度、更好的耐磨性及更优的抗高温氧化性能,所以氮化钛铝锆铌四元氮化物...
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