技术编号：8410246
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 对微纳米精密位移测量的仪器目前主要包括两种激光干涉仪和光栅干涉仪。激 光干涉仪以波长为基准，能得到很高的分辨率，但由于波长容易受到环境、光源等因素的影 响，其应用受到了限制。而光栅干涉仪则刚好弥补了激光干涉仪的缺点，其以光栅周期作为 基准，测量结果基本不受环境和波长的影响，已广泛应用于加工机床、机器人、生物医疗等 领域。 无论是激光干涉仪还是光栅干涉仪，其分辨率大小都取决于光学细分倍数和电子 细分倍数。由于电子细分受限于光学细分信号，在电子细分相同的情况...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。