技术编号：8411544
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。在TFT-LCD (Thin Film Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶体管液晶显示器)制造业中，⑶(Critical Dimens1n，关键尺寸)的监控测量非常重要，其测量结果的准确性将影响到整个显示装置的性能。在ADS (Advanced-Super Dimens1n Switch，高级超维场转换技术)型的阵列基板中，间隔分布的条状电极的线宽就是阵列基板的关键尺寸，将影响到显示装置的透过率等性能。在所述阵列基板...
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