半导体基板及其制法技术资料下载

技术编号:8413962

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本发明涉及一种基板及其制法,尤指一种。背景技术现行的覆晶技术因具有缩小芯片封装面积及缩短讯号传输路径等优点,目前已经广泛应用于芯片封装领域,例如芯片尺寸构装(Chip Scale Package,CSP)、芯片直接贴附封装(Direct Chip Attached, DCA)以及多芯片模块封装(Mult1-Chip Module, MCM)等型态的封装模块,其均可利用覆晶技术而达到封装的目的。于覆晶封装制程中,因芯片与封装基板的热膨胀系数的差异甚大,故芯片...
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