一种半绝缘GaN外延结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8414143

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GaN具有较大的直接禁带宽度(3.4ev)、高热导率、高电子饱和漂移速度等特点,因此已经成为目前半导体的研究热点。特别地,氮化镓基高电子迁移率场效应晶体管(HEMT)是一种基于氮化物异质结构的新型电子器件。该器件具有高频、大功率的优异特性,广泛应用于无线通信基站、电力电子器件等信息收发、能量转换等领域。由于AlGaN/GaN异质结构击穿电压大,因极化可产生高浓度二维电子气(2DEG),并具有很高的电子迁移率,因此在微波功率器件应用方面引起了广泛关注。如有时...
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