技术编号：8414146
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 通过根据摩尔定律按比例减小集成芯片（1C)组件的最小部件尺寸，半导体工业 已经不断地改进了集成芯片的性能。然而，近年来，一些1C组件的按比例减小已经变得越 来越难。为了缓解按比例减小的需求，半导体工业已经在寻找改进集成芯片的性能的其他 方式。 应变工程通常用于改进晶体管器件的性能。例如，通过对PM0S晶体管的沟道区诱 导压缩应力，改进了晶体管的迁移率和性能。通过将应变工程用于改进晶体管性能，缓解了 按比例减小集成芯片设计（例如，进一步减小栅极电介质厚度）...
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