一种应用于晶体硅湿法刻蚀可控边的刻蚀方法技术资料下载

技术编号:8414196

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在太阳能电池的主要制造工艺中,刻蚀的技术主要是通过酸腐蚀处理,电池片经 过液面时去除边缘及背面的PN结,从而阻止正负发射极互相导通导致电池片短路的情况, 从而形成一个完整的电池结构。 然而在湿法刻蚀时液体对边缘刻蚀的时候对边缘的刻蚀宽度不容易控制,导致刻 蚀边缘的宽度不确定,给电池的PN结的有效面积带来一定的影响,影响了电池片的开路电 压,及旁路电阻的减小、并联减小等,从而对效率带来了一定的影响。发明内容 为了克服上述缺陷,本发明提供, 其可以定向精准的...
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