技术编号：8415109
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。近年来随着微纳米技术的迅猛发展，压电驱动装置在超精密微细加工与测量技术、微机电系统、纳米科技、半导体制造、现代医学与生物遗产工程、航空航天技术等领域存在日益广泛的应用。虽然压电陶瓷驱动器具有体积小，位移输出分辨力高，易于控制，无杂散磁场等特点，但是由于其位移输出行程较小且只能输出直线位移因此应用范围被大大缩小。发明内容为了克服上述现有技术存在的问题，本发明的目的在于提供，将压电陶瓷驱动器输出的直线位移转变为角位移，并通过多个压电陶瓷驱动器的协调步进实现驱动...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。