纳米碳膜的制造方法及纳米碳膜的制作方法技术资料下载

技术编号:8416988

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近年来,在固体碳材料中,关于全部的原子位置能够规定的纳米碳,发现具有在室温下的电子的移动度特别高、室温下的电阻非常小、热导率高这样的性质,因而正受到非常关注。该纳米碳根据其结构而分类为富勒烯、碳纳米管、石墨烯,但例如,提出了通过如下形成石墨烯的方法对碳化硅(SiC)基板在真空中施予高温热处理,而使该碳化硅基板的表面的硅原子升华,通过残留的碳原子在碳化硅基板的表面形成石墨烯(特开2007-335532号公报(专利文献I))。但是,在该方法中,必须在非常高的温...
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