技术编号:8417229
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明使用多变量分析的等离子体蚀刻终点检测相关申请的交叉引用本申请基于2012年10月17日提交的、题目为“使用多变量分析的等离子体蚀刻过程的终点检测的方法(METHOD OF ENDPOINT DETECT1N OF PLASMA ETCHING PROCESSUSING MULTIVARIATE ANALYSIS) ”(参考号TT1-240PR0V)的共同未决的美国临时专利申请第61/715,047号,并要求该美国临时专利申请的权益和优先权,其全部内...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。