一种自行式平面三自由度压电驱动平台的制作方法技术资料下载

技术编号:8422118

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随着精密工程的迅速发展,现代制造领域对精密运动平台的精度、速度和行程 提出了越来越高的要求,其定位精度和行程范围直接影响到生产加工的精度和广度。传 统的运动平台主要由电磁型旋转电机驱动,这种驱动方式技术工艺成熟、性能稳定,但 是不可避免地存在着较多的中间运动转换环节和弹性变形,使得平台的实时性较差,可 实现的直线运动的定位精度或速度较低。另外,由于电机本身基于电磁效应的工作原 理,不可避免的会对工作环境带来电磁干扰。压电驱动器从定位精度、响应速度等方 面...
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