技术编号：8422490
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 在半导体、太阳能电池、液晶面板、LED照明、OLED显示、OLED照明等领域的生产工 艺中存在一些精密涂布工艺，这些涂布工艺不同于一般的整面涂布工艺而是需要进行图案 涂布，即涂布出来的薄膜是按照一定图案分布排列的，通常称该类涂布为选择性涂布或者 选择性成膜。以OLED量产工艺为例就存在以下一些选择性涂布工艺，例如用狭缝涂布机来 进行液态空穴注入层薄膜的涂布，用旋涂设备来进行内光提取层的涂布，用喷涂设备来进 行内光提取层的涂布。量产中通常是用大尺寸玻璃例如...
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