技术编号:8426267
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。硅旋转靶材是一种以硅为原材料的圆筒式磁控靶材,内套有不锈钢管,应用于玻璃、半导体、平板电视等领域。传统的旋转靶材制备有热等静压法和喷涂法,热等静压是一种制品在高温、高压密闭容器内得以烧结和致密化的方法,但成本较高;喷涂方法会产生较多的喷涂粉体,而且往往喷涂不均匀,得到的靶材密度低、利用率低、性能差,无法满足高端行业对于靶材质量的要求。国内从事硅旋转靶领域的工作者较少,技术不完善或缺乏,需要开发新方法来提高旋转靶材的质量。发明内容本发明的目的在于克服现有方法...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。