技术编号:8426373
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。重掺硼硅单晶片是一种应用范围很广的硅片。衡量重掺硼硅单晶片性能的一种重要指标是氧含量。氧含量过高会导致晶片在做成器件后不良率较高,漏电现象较多。发明内容本发明的目的是为了克服现有技术中的不足,提供一种氧含量低的。为实现以上目的,本发明通过以下技术方案实现,其特征在于,使用封闭热场拉制硅单晶棒,封闭热场内设置有石英坩埚,所述石英坩埚尺寸为14寸,每次拉制投料量为22kg-27kg ;封闭热场内氩气流量为50-60L/min ;炉内压力为10_15Torr ;...
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