技术编号:8428749
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。微扫描镜(MEMS Scanning Mirror)为传递光信号的重要元件,其广泛地应用于光机电系统整合的产品与技术中,例如投影机、条码读取器(barcode reader)、光调制器(optical modulator)、光遮断器(optical chopper)、光开关(optical switch)以及光学定位(optical posit1ning)等。微扫描镜一般是由致动器与面镜所组合而成,致动器负责施加力量于面镜上,使面镜产生角位移,对入射的光信...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。