分光测量系统、分光模块以及位置偏离检测方法技术资料下载

技术编号:8428917

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本发明涉及。背景技术目前已知有利用拍摄元件接收经过分光元件分光后的光并获取受光量,从而进行分光测量的分光测量装置(例如参照专利文献I)。专利文献I所述的分光仪(分光测量装置)一体地具备干涉仪(波长可变干涉滤波器)和检测器(拍摄元件),在干涉仪中,一对光学元件相对配置,通过使上述光学元件间的间隔发生变化,可以改变光的透射特性。先行技术文献专利文献专利文献1美国专利第8130380号说明书发明内容发明要解决的技术问题上述专利文献I中所述的现有的分光测量装置是分...
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