技术编号：8430968
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 随着半导体产业的不断发展，超大规模集成电路的发展应运而生。在电路规模不 断扩大、特征尺寸不断缩小的情况下保持或提高集成电路的成品率已成为集成电路制造中 的关键问题。而关键面积是衡量集成电路成品率的一个重要指标。版图中的线网和随机缺 陷轮廓大多数是非规则形状的，在平面版图上可以更加直观的计算线网的关键面积及优化 随机缺陷。为了精确计算版图的关键面积以及能够更加方便和高效地处理和优化版图图 像，需要将版图文件转换为图像文件。 JunpingWang，Suya...
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