一种提高薄膜晶体管特性的方法技术资料下载

技术编号:8432136

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有源矩阵有机发光二极体面板(ActiveMatrix/Organic Light Emitting D1de,AMOLED)是目前平板显示技术中受到关注最多的技术之一。相比传统的液晶面板,其具有反应速度较快、对比度更高、视角较广等特点。在AMOLED平板显示技术中多采用多晶硅薄膜晶体管,相较于传统的非晶硅(a-Si)薄膜晶体管,多晶硅薄膜晶体管具有功率小、迁移率大的优势。早期的薄膜晶体管工艺制程温度大于1000°C,在平板显示领域,由于基板材质以及大尺寸等...
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