技术编号:8432441
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 薄膜晶体管(英文全称Thin Film Transistor,简称TFT)在显示有着广 泛的应用,现有技术中底栅型薄膜晶体管,如图1所示,包括依次堆叠设置的栅极层1、第一 绝缘层2、半导体层3、第二绝缘层4,以及分别通过设置在层间绝缘层4中的通孔与所述半 导层3两侧的源区和漏区接触连接的源极51和漏极52。 低温多晶娃(英文全称为Low Temperature Poly-Silicon,简称LTPS)的电子迁 移率高,用作半导体层3的材料,不但可以提高显...
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