技术编号:8444441
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及MEMS压阻式微压传感器,具体涉及。背景技术随着微机械电子系统技术的发展,MEMS微压传感器已被广泛应用于风洞测试、生物医电等领域,尤其在航空航天领域,对传感器的体积、重量有严格要求,并要求传感器具有一定的灵敏度和固有频率。MEMS传感器无疑是十分理想的选择。例如在航空航天领域,对于飞行器深高空高度监测具有重要意义,而压力与高度有一定的比例关系,因而通过压力传感器就可反映出飞行器高度的变化。飞行器从发射到达到预定高度,大气压力从约10kPa变化到...
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