技术编号:8448801
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 在印刷配线板的制造中,在用光蚀刻法形成铜配线图案的情况下,是使用氯化铁 系蚀刻液、氯化铜系蚀刻液、碱性蚀刻液等作为蚀刻液。如果使用这些蚀刻液,则存在蚀刻 抗蚀剂下的铜自配线图案的侧面溶解,被称为"侧蚀"的情况。即,产生如下现象被蚀刻抗 蚀剂所覆盖,本来期望不被蚀刻而除去的部分(即,铜配线部分)却被蚀刻液除去,而使该 铜配线的宽度从底部往顶部变细。特别是在铜配线图案微细的情况下,必须使此种侧蚀尽 可能地变少。为了抑制该侧蚀,而提出了调配有唑化合物的蚀刻液(...
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