一种靶式溅射镀膜机的制作方法技术资料下载

技术编号:8454328

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石英晶体谐振器是一种用于稳定频率和选择频率的电子元件,被广泛的应用在电子产品上。随着产品生产自动化程度的提高,产品品质要求也越来越高,已经成为一个企业生存的关键。晶片镀膜是石英晶体生产的重要环节,它关系到成品的各项技术参数是否合格。现有的镀膜机都是通过银在真空状态高温形成银蒸气,然后再附着到晶体表面。采用此工艺存在以下两方面问题一是采用银蒸发,达不到连续蒸发,影响产品品质;二是镀层分布不均,镀层与镀件结合不牢固。因此,需要一种新的技术方案来解决上述技术问题...
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