技术编号:8455970
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在光刻机整机测调过程中,有很多平行平面在测量间距时,因为空间狭小目前只能采用接杆式千分尺等量具,以手工操作方式进行测量。由于接杆式千分尺的系统误差都在±0.0lmm以上,另外人员手工操作时,接杆式千分尺与测量平面的夹角不垂直、接杆式千分尺的测头与测量平面间的接触力过大造成测量平面变形、操作人员读数时的读取误差等,都会带来测量误差,从而导致目前的整机测调工作测量误差大,无法进行精确测量。发明内容本发明的目的在于提出一种在狭小空间内测量精度高,并减少测量耗时的...
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