技术编号:8456061
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种气体压力检测装置,尤其是涉及一种应用于微机电系统的压阻式MEMS压力传感器,以及传感器的制备方法。背景技术在汽车的制动系统、发动机系统、胎压监测系统,以用其他工业气体压力控制和家用燃气压力监测控制等,气体压力传感器具有广泛的应用。在这些领域中,大多采用中等量程气压传感器,所监测的气压范围通常在500kPa?1MPa之间。随着微机械电子系统(MEMS)的发展,传感器的技术发展已趋向批量化、微型化,正是由于批量化的MEMS体硅制造技术的优势,微型...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。