技术编号:8456064
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。真空度测量是真空技术的重要组成部分,对于在恶劣的狭小空间(如有毒、易燃、易爆、高温高压等场合)的真空度检测是目前真空度测量技术的关键应用之一,现有可以满足的技术选择为硅微机械探头方法,硅微机械探头制作的真空传感器具有微型化、易集成、高灵敏度、成本低等优点。但硅微机械探头检测方法也存在缺点(I)硅微机械传感器的激励方式有压电激励、静电激励、或电热激励等,均需要在硅微悬臂梁上制作附加激励元件,激励效率低;(2)硅微机械探头方法需要电信号激励和输出,抗电磁干扰能...
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