技术编号：8456436
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。纳米技术已成为当今世界科技发展的重要技术之一，对人类探索未知领域具有重大的推动作用。原子力显微镜及扫描电子显微镜等高分辨率仪器已成为纳米研宄的重要工具。但原子力显微镜只能测量样品的形貌特征，对样品所包含的成分信息却无能为力，扫描电子显微镜虽然具有分辨率高，使用方便，成像时间短等优点，但其具有和原子力显微镜相同的弱点。众所周知，根据瑞利判据，光学成像系统的分辨率R多0.61 λ/NA，其中λ为光波的波长，NA = n sine为光学成像系统的数值孔径。在传统...
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