技术编号:8458304
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。集成传感器是一种内部集成了多个传感器单元的传感器芯片(例如由压力传感器单元和温度传感器单元集成的集成传感器),并且作为一个能够同时实现多种传感功能的独立的芯片进行使用。目前集成传感器的封装一般是将其各个传感器单元的MEMS传感器芯片和ASIC芯片贴装于基板上,最终封装在一个腔体内进行集成,例如图1和图2所示外壳2覆盖在第一基板I上围成一个大的腔体,腔体内设置有贴装在第一基板I上的两个传感器单元。其中一个传感器单元包括MEMS传感器芯片3和ASIC芯片5,两...
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