基于氧化锌的紫外光敏传感器及其制备方法技术资料下载

技术编号:8458402

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本发明涉及传感器领域,尤其是涉及一种基于氧化锌的紫外光敏传感器及其制备 方法。背景技术 氧化锌纳米线作为半导体材料,可以应用于紫外光敏传感器,当紫外光照射在氧 化锌纳米线上时,氧化锌纳米线的电阻发生变化,进而使其输出电流产生变化。现有紫 外光敏传感器为提高传感器的灵敏度,多注重于改进氧化锌纳米线的制备方法,申请号 201010508591. 5公开了一种半导体紫外探测传感器及其制备方法,其利用在梳齿形电极 一侧通过气相沉积法或者液相化学法生长纳米氧化锌制...
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