用于检测两个相邻物体的相对运动的容性传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:8460575

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本发明涉及一种用于检测两个相邻物体在接近或远离时的相对运动的容性传感器。背景技术容性传感器例如用作压力、力或位移传感器。为了可以借助于容性传感器探测两个相邻物体的微小相对于运动,需要在传感器内电极间隔的变化的可靠的区别,这特别是在相对小的运动和间隔变化时可能是有问题的。人们可以放大传感器的电信号,以便实现更好的区别。在非常小的变形位移的情况下,该变形位移应该以容性传感器检测,那么但是需要相当大的放大,其中人们随后触碰到电子装置的极限,这涉及电子装置的噪声性...
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